指標名稱

一級水

二級水

三級水

PH值範圍（25℃）

-

-

5.0-7.5

電導率（25℃）

ms/m≤

0.01

0.10

0.50

us/cm≤

0.1

1

5

比電阻MΩ.cm@25℃>

10

1

0.2

可氧化物[以O計]mg/L

-

≤0.08

≤0.40

吸光度（254nm,1cm光程）≤

≤0.001

≤0.01

-

可溶性矽（以二氧化矽計）含量（mg/L）

≤0.01

≤0.02

-

蒸發殘渣（mg/L）

-

≤1.0

≤2.0